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晶圆浸入器详情:
聚四氟乙烯(PTFE)材质
内径103毫米,外径109毫米,孔径5毫米,杆长200毫米
形状类似杆末端带有篮子
兼容4英寸晶圆
篮子(底板)带有孔(直径5毫米)用于排出化学品
篮子(底板)侧面有挡板,防止晶圆滑落。
工作温度:-196℃至250℃
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聚四氟乙烯(PTFE)材质
内径103毫米,外径109毫米,孔径5毫米,杆长200毫米
形状类似杆末端带有篮子
兼容4英寸晶圆
篮子(底板)带有孔(直径5毫米)用于排出化学品
篮子(底板)侧面有挡板,防止晶圆滑落。
工作温度:-196℃至250℃