SOKA TECHNOLOGY
碳化硅衬底4英寸6英寸生产/测试级4H半绝缘碳化硅晶圆IGBT
年级:P级
尺寸:4英寸
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♦️高质量碳化硅晶片,适用于研发和实验。
♦️提供小批量、特殊规格产品和定制服务。
♦️全球发货,安全支付,库存充足。
♦️最短交付时间1周内。通过FedEx、DHL、UPS等快递公司发货。
碳化硅衬底规格:
- 尺寸:6英寸;
- 直径:150mm±0.25;
- 厚度:350um±25;
- 表面取向:偏离[11-20]方向4°±5°;
- 主平面取向:[11-20]±5°;
- 主平面长度:47.5mm±1.5;
- 副平面:无;
- 微管密度:≤10/cm2;
- 电阻率:0.015~0.028Ω;
- TTV≤10um;
- Warp≤55um;
- Bow≤45um;
- 表面粗糙度:Si面Ra<0.5 nm;
- 裂纹:无;
- 粗糙度:无;
- 边缘崩边:≤2,每个长度和宽度<1mm;
- 表面光洁度:双面抛光,Si面CMP;
- 包装:多片晶圆盒或单片晶圆盒;
