SOKA TECHNOLOGY
碳化硅衬底 8英寸 4H 半绝缘 虚拟级 碳化硅晶圆 IGBT
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♦️用于研究和实验的高质量碳化硅晶圆。
♦️提供小批量、特殊规格产品和定制服务。
♦️全球发货,安全支付,库存充足。
♦️最快1周内发货。通过FedEx、DHL、UPS等快递运输。
碳化硅衬底规格:
- 尺寸:8英寸;
- 直径:200mm±0.2;
- 厚度:500um±25;
- 表面取向:<0001>;
- 缺口方向:[1-100]±5°;
- 缺口深度:1~1.5mm;
- 微管密度:≤50/cm2;
- 电阻率:70%面积>1E5Ω;
- LTV:<15um(10*10mm)
- TTV≤20um;
- Warp≤70um;
- Bow≤-65um~65um;
- 多型:<30%累计面积;
- 裂纹:无;
- 粗糙度:无;
- 边缘:倒角;
- 表面光洁度:双面抛光,Si面CMP;
- 包装:多片盒式或单片容器;
