SOKA TECHNOLOGY
碳化硅衬底 8英寸 N型 生产/测试级 4H SiC 晶圆 IGBT
年级:P型mos管等级
厚度:350微米
数量:2件
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厚度:350微米
数量:2件
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厚度:350微米
数量:2件
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♦️用于研究和实验的高质量碳化硅晶圆。
♦️提供小批量、特殊规格产品和定制服务。
♦️全球发货,安全支付,库存充足。
♦️最短交货时间1周内。通过FedEx、DHL、UPS等发货。
碳化硅衬底规格:
- 尺寸:8英寸;
- 直径:200mm±0.2;
- 厚度:500um±25;
- 表面取向:朝向 [11-20]±0.5°;
- 刻痕取向:[1-100]±1°;
- 刻痕深度:1±0.25mm;
- 微管密度:<5cm2;
- 六角形区域:面积≤5%;
- 电阻率:0.014~0.028Ω;
- EPD:不适用;
- TED:不适用;
- BPD:不适用;
- TSD:不适用;
- SF:不适用;
- TTV≤15um;
- Warp≤60um;
- Bow≤40um;
- 多晶区域:≤5%;
- 崩边/凹痕:数量:2≤1mm 宽和深;
- 划痕:累计长度≤1.5 晶圆直径;
- 污渍:无;
- 晶圆边缘:倒角;
- 表面光洁度:双面抛光,Si面CMP;
- 包装:多晶圆盒或单晶圆容器;
