♦️用于研究和实验的高质量碳化硅晶圆。
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碳化硅衬底规格:
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尺寸:6英寸;
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多型:4H;
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直径:150mm±0.2;
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厚度:500/700um±25;
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表面取向(轴向):<0001>;
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吸收率:<0.5%@450-650nm;
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折射率:>2.65@589nm;
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雾度:<0.3%@可见光;
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表面取向(轴向):<0001>;
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表面取向(偏轴):0°/1°/4°±0.5°;
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微管密度:≤0.2 ea/cm2;
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可见碳密度:无;
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LTV≤1.5μm(40mm*40mm);
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TTV≤2.5μm;
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翘曲≤10μm;
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弯曲≤-5μm~5μm;
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表面粗糙度:Ra≤0.5nm(10μm*10μm);
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多晶区域:无;
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切口方向:<1-100>±1°;
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切口深度:1~1.25mm;
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边缘碎裂/凹痕/针孔:无;
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表面处理:双面CMP;
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包装:多晶圆盒或单晶圆容器;
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生产时间:2~3周;

