♦️用于研究和实验的高质量磷化铟晶圆。
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磷化铟 (InP) 规格：
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尺寸：2英寸；
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直径：50.0毫米±0.3；
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掺杂剂：N/InP-S；
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取向：(100)2°±0.5°偏向<110>α =225°；
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厚度：355微米±15；
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主平边取向：[0-1-1]±0.05°；
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主平边长度：16毫米±2；
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副平边取向：[0-11] ±0.5°；
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副平边长度：7毫米±1；
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载流子浓度：(3.0-4.0)E18 cm-3；
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电阻率：不适用；
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迁移率：不适用；
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EPD：平均值＜200cm-2；
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TTV/TIR：≤10微米；
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BOW：≤10微米；
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WARP：≤15微米；
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正面：抛光；
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背面：蚀刻；
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包装：晶圆盒；
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交货时间：2~3周；
