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蓝宝石衬底GaN外延片规格:
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尺寸:2英寸;
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镁掺杂;
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直径:50.8 mm±0.3 mm;
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厚度/厚度标准:4.5 ± 0.5 μm / < 3%;
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GaN晶向:C面 (0001) 偏A轴 0.2 ± 0.1°;
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GaN定向平面:(1-100) 0 ± 0.2°, 16 ± 1 mm;
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导电类型:P型;
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电阻率 (300K):< 10 Ω·cm;
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载流子浓度:> 1 x 1017 cm -3 (p+GaN掺杂浓度 ≥ 5 x 1019 cm -3);
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迁移率:> 5cm2/V·s;
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结构:~ 0.5 μm p+GaN/~ 1.5 μm p-GaN /~ 2.5 μm uGaN /~ 25 nm uGaN 缓冲层/430 ±25 μm 蓝宝石;
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XRD半高宽:(0002)<300角秒,(10-12)<400角秒;
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蓝宝石晶向:C面 (0001) 偏M轴 0.2 ± 0.1°;
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蓝宝石定向平面:(11-20) 0 ± 0.2°, 16 ± 1 mm;
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蓝宝石抛光:单面抛光(SSP)/双面抛光(DSP);
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可用面积:> 90% (不含边缘和宏观缺陷);
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晶圆盒;