SOKA TECHNOLOGY
碳化硅衬底 4英寸 6英寸 半绝缘 4H NG级 碳化硅晶圆 IGBT
尺寸:4英寸
数量:5 件
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尺寸:4英寸
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♦️高品质碳化硅晶圆,适用于研究和实验。
♦️提供小批量、特殊规格产品和定制服务。
♦️全球发货,安全支付,大量库存。
♦️最短交货时间1周内。通过FedEx、DHL、UPS等发货。
碳化硅衬底规格:
- 尺寸:4英寸;
- 直径:100.8毫米±0.5;
- 厚度:500微米±25;
- 表面取向:<0001>±0.2°;
- 主平面取向:[11-20]±5°;
- 次平面取向:硅面朝上,距主平面90°顺时针±5°;
- 微管:不适用;
- 电阻率:不适用;
- TTV≤10微米;
- 翘曲≤45微米;
- 弓形≤30微米;
- 表面粗糙度:Si面Ra≤0.5纳米;
- 裂纹:无;
- 晶圆边缘:倒角;
- 表面处理:双面抛光,Si面CMP;
- 包装:多晶圆盒或单晶圆盒;
